清华大学微电子学研究所基本概况清华大学微电子学研究所，创建于1980年9月，坐落在清华大学校园内，是中国教育部批准成立的科研机构。该所占地约10000平方米，作为国家重点支持的北方微电子研究与开发基地的核心部分，致力于微纳电子学及集成电路设计、制造与系统集成技术的前沿研究，拥有完备的集成电路开发与